O próżni wiemy wszystko

Sputter Process Monitor SPM 220

Sputter Process Monitor SPM 220

Sputter process monitor SPM 220 układ złożony z pompowanego różnicowo spektrometru masowego; przeznaczony głównie do analizy najmniejszych zanieczysczeń gazów i mieszanin gazowych w procesach pod ciśnieniem poniżej 2·10e(-2) mbar. Aktualne ciśnienie robocze analizatora określa system dozowania gazów.

 

OPIS UKŁADU I ZAKRES DOSTAWY

  •   Zawór SVV 040 DN 40 CF-F, sterowanie elektropneumatyczne
  • spektrometr masowy PrismaPlus™ z analizatorem kwadrupolowym QMA 200M i elektroniką QME 220M
  • wygrzewana komora prózniowa UHV z pomiarową głowicą próżniową PKR 251 DN 40 CF
  • system pompowy – pompa turbomolekularna HiPace™ 80 DN 63 CF-F i pompa membranowa MVP 020
  • opcjonalnie kontroler BRU220 w składzie
  • kontroler pompy turbo DCU002
  • próżniomierz jednokanałowy TPG 262
  • sterownik zaworów do dozowania gazów VCU 220

KONFIGURACJA

 

 

Dane techniczne

WYMIARY

Szczegóły w załączonej ulotce (obok)

Partnerzy