O próżni wiemy wszystko

Komora działa plazmowego IBIS-II

Komora działa plazmowego IBIS-II

W skład urządzenia wchodzą:

  • zaprojektowana pod indywidualne wymagania komora próżniowa HV o objętości ok. 0,5 m3 z rękawem diagnostycznym
  • stanowisko pompowe komory złożone z dwóch pomp turbomolekularnych HiPace 2300 U i bezolejowego stanowiska pompowego ACG 600 (pompa typu wielostopniowy suchy Roots A 120L i pompa typu Roots RSV 601)
  • trzy stanowiska pompowe jonowodu złożone z pomp turbomolukularnych HiPace 80 i wstępnych typu wielostopniowy suchy Roots ACP 15
  • układ zaworów
  • układ sterowania wraz z oprogramowaniem

Partnerzy