O próżni wiemy wszystko

Partnerzy

Sputter Process Monitor SPM 220

Oceń ten artykuł
(0 głosów)

Sputter process monitor SPM 220 układ złożony z pompowanego różnicowo spektrometru masowego; przeznaczony głównie do analizy najmniejszych zanieczysczeń gazów i mieszanin gazowych w procesach pod ciśnieniem poniżej 2·10e(-2) mbar. Aktualne ciśnienie robocze analizatora określa system dozowania gazów. 

 

OPIS UKŁADU I ZAKRES DOSTAWY

 - Zawór SVV 040 DN 40 CF-F, sterowanie elektropneumatyczne

- spektrometr masowy PrismaPlus™ z analizatorem kwadrupolowym QMA 200M i elektroniką QME 220M 

- wygrzewana komora prózniowa UHV z pomiarową głowicą próżniową PKR 251 DN 40 CF 

- system pompowy - pompa turbomolekularna HiPace™ 80 DN 63 CF-F i pompa membranowa MVP 020

- opcjonalnie kontroler BRU220 w składzie

- kontroler pompy turbo DCU002

- próżniomierz jednokanałowy TPG 262

- sterownik zaworów do dozowania gazów VCU 220

KONFIGURACJA

 

 

 

DANE TECHNICZNE

 

 

WYMIARY

Szczegóły w załączonej ulotce (obok) 

All rights reserved (C) 2015 APVACUUM sp. z o.o
 

Masz pytanie?

Dr Artur Kajoch
tel. +48 601 88 53 91
tel. +48 61 656 35 60
Ten adres pocztowy jest chroniony przed spamowaniem. Aby go zobaczyć, konieczne jest włączenie w przeglądarce obsługi JavaScript.
 
Dr Piotr Kątowski
tel. +48 607 57 10 99
tel. +48 61 656 35 61
Ten adres pocztowy jest chroniony przed spamowaniem. Aby go zobaczyć, konieczne jest włączenie w przeglądarce obsługi JavaScript.