Komory próżniowe

komora prozniowa prod. Trinos GmbH (grupa Pfeiffer Vacuum)
Oferujemy komory prozniowe standardowe: sferyczne, walcowe horyzontalne i pionowe, prostopadłościenne. Wszystkie moga być w wykonaniu HV i UHV. Dostepne są rowniez wykonania komor zgodnie z wymaganiami specjalnymi Klientow.
Standardowe komory prozniowe TrinosLine™:
- komory prozniowe sferyczne
- komory prozniowe walcowe poziome (horyzontalne) i pionowe
- komory prozniowe prostopadłościenne (kubiczne)
- komory modularne
W przypadku kazdej z komor na etapie zamowienia uzgadniane są połozenia niezbędnych portow i przyłączy prozniowych a takze drzwi, wziernikow, połek i stolikow wewnętrznych itp.
Komory wykonywane są standardowo ze stali nierdzewnej 1.4301/304 (przyłącza ISO-K, ISO-KF, ściany komory) lub 14307/304L dla flanszy CF. Dostępne są rowniez wykonania z innych materiałow takich jak stale austeniczne specjalne czy aluminium. W przypadku konieczności wygrzewania komor powyzej 950 °C i/lub zapewnienia minimalnych wspołczynnikow odgazowania mozliwe jest zastosowanie stali nierdzewnej 1.4429/316LN ESR. Na zamowienie dostarczamy certyfikaty materiałowe.
Powierzchnie zewnętrzne i wewnętrzne komor TrinosLine™ są szkiełkowane. Jeśli istnieje konieczność wykończenie powierzchni moze nastepować przez piaskowanie, elektropolerowanie, wytrawianie i pasywację chemiczną lub wygrzewanie w prozni.
Przykładowe wykonania
Komory prozniowe specjalne TrinosLine
Komory prozniowe wykonywane na specjalne zamowienia pod konkretny projekt.
Komory prozniowe TrinosLine™ mozna wyposazać na wiele sposobow. Spośrod dostępnych opcji są m.in.
- elementy chłodzenia wodnego (np. system węzownic, podwojne ściany itp.)
- elemnty wygrzewnia
- ramy montazowe
- wyposazenie wnętrza komory (stoły pomiarowe, optyczne, połki, uchwyty itp.)
- zawory prozniowe, systemy dozowania gazow, zaślepki, zawory bezpieczeństwa, przepusty prozniowe
- montaz komory w warunkach o podwyzszonej czystości (cleanroom)
- dobor odpowiednich układow pompowych i do pomiaru prozni
Kazda komora przed dostawą do Klienta podlega rygorystycznym kontrolom i testom jakościowym w tym:
- test ciśnieniowy i badanie spoin za pomocą penetrantow
- badanie szczelności metodą helową integralną
- kontrola wymiarow za pomoca maszny wspołrzędnościowej CMM
- analiza składu atmosfery (metoda RGA)
- testy izolacji elektrycznych
- sprawdzanie spoin promieniowaniem rentgenowskim