Komory próżniowe

Oferujemy komory prozniowe standardowe: sferyczne, walcowe horyzontalne i pionowe, prostopadłościenne. Wszystkie moga być w wykonaniu HV i UHV. Dostepne są rowniez wykonania komor zgodnie z wymaganiami specjalnymi Klientow.

Standardowe komory prozniowe TrinosLine™:

• komory prozniowe sferyczne
• komory prozniowe walcowe poziome (horyzontalne) i pionowe
• komory prozniowe prostopadłościenne (kubiczne)
• komory modularne

W przypadku kazdej z komor na etapie zamowienia uzgadniane są połozenia niezbędnych portow i przyłączy prozniowych a takze drzwi, wziernikow, połek i stolikow wewnętrznych itp.

Komory wykonywane są standardowo ze stali nierdzewnej 1.4301/304 (przyłącza ISO-K, ISO-KF, ściany komory) lub 14307/304L dla flanszy CF. Dostępne są rowniez wykonania z innych materiałow takich jak stale austeniczne specjalne czy aluminium. W przypadku konieczności wygrzewania komor powyzej 950 °C i/lub zapewnienia minimalnych wspołczynnikow odgazowania mozliwe jest zastosowanie stali nierdzewnej 1.4429/316LN ESR. Na zamowienie dostarczamy certyfikaty materiałowe.

Powierzchnie zewnętrzne i wewnętrzne komor TrinosLine™ są szkiełkowane. Jeśli istnieje konieczność wykończenie powierzchni moze nastepować przez piaskowanie, elektropolerowanie, wytrawianie i pasywację chemiczną lub wygrzewanie w prozni.

Przykładowe wykonania

Komory prozniowe specjalne TrinosLine

Komory prozniowe wykonywane na specjalne zamowienia pod konkretny projekt.

Komory prozniowe TrinosLine™ mozna wyposazać na wiele sposobow. Spośrod dostępnych opcji są m.in.

• elementy chłodzenia wodnego (np. system węzownic, podwojne ściany itp.)
• elemnty wygrzewnia
• ramy montazowe
• wyposazenie wnętrza komory (stoły pomiarowe, optyczne, połki, uchwyty itp.)
• zawory prozniowe, systemy dozowania gazow, zaślepki, zawory bezpieczeństwa, przepusty prozniowe
• montaz komory w warunkach o podwyzszonej czystości (cleanroom)
• dobor odpowiednich układow pompowych i do pomiaru prozni

Kazda komora przed dostawą do Klienta podlega rygorystycznym kontrolom i testom jakościowym w tym:

• test ciśnieniowy i badanie spoin za pomocą penetrantow
• badanie szczelności metodą helową integralną
• kontrola wymiarow za pomoca maszny wspołrzędnościowej CMM
• analiza składu atmosfery (metoda RGA)
• testy izolacji elektrycznych
• sprawdzanie spoin promieniowaniem rentgenowskim