Kompaktowe modułowe naparowarki serii HEX

Naparowarki HEX firmy Korvus Technology charakteryzują się niewielkimi wymiarami i dużą elastycznością w konfiguracji zestawu.

Podstawą zestawu jest komora z wymiennymi panelami bocznymi, które można dowolnie dobierać w zależności od potrzeb: okno, źródła par, waga kwarcowa, przepusty lub nawet komora załadowcza.

Stacja próbki umożliwia mocowanie podłoży o średnicy do 4 cali. Opcjonalnie dostępne są wersje z obrotowym uchwytem, grzaniem lub chłodzeniem próbki, a także zapewniające gradient temperatury.

Zestaw zawiera zasilacze oraz automatykę do sterowania pracą pomp, a kontrolę procesu ułatwia oprogramowanie

Dostępne są następujące źródła do nanoszenia warstw:

• rozpylanie magnetronowe, DC lub RF
• odparowanie z wiązki elektronowej
• odparowanie termiczne
• naparowarka do substancji organicznych – źródło par o temperaturze pracy w zakresie 50 – 600°C

Więcej na stronie producenta