Napylarka serii HEX®
Napylarki serii HEX® firmy Korvus Technology Ltd. zostały zaprojektowane tak, aby połączyć najnowsze technologie nanoszenia cienkich warstw z wysoką wydajnością procesów PVD (fizyczne osadzanie z fazy gazowej). Ich konstrukcję oparto na otwartej architekturze, która umożliwia użytkownikom niespotykaną nigdzie indziej swobodę konfiguracji, modernizacji i dodawania własnych narzędzi.
Podstawą zestawu jest komora z wymiennymi panelami bocznymi, które można dowolnie dobierać w zależności od potrzeb (okna / wzierniki, różnorakie źródła, waga kwarcowa, przepusty, load-lock).
W zależności od wersji stoliki na próbki umożliwiają mocowanie podłoży o średnicy od 4 do 6 cali. Opcjonalnie dostępne są wersje z obrotowym uchwytem, grzaniem lub chłodzeniem, a także realizujące gradient temperatury.
Zestaw HEX-series zawiera zasilacze oraz automatykę do sterowania pracą pomp, a kontrolę całego procesu PVD ułatwia dedykowane oprogramowanie.
W urządzeniach serii HEX, HEX-L i HEX-XL można zastosować następujące źródła do nanoszenia warstw:
- rozpylanie magnetronowe, DC lub RF
- odparowanie z wiązki elektronowej (działo elektronowe 4-tyglowe)
- odparowanie termiczne
- naparowywarka do substancji organicznych – źródło par o temperaturze pracy w zakresie 50 – 600°C
Więcej na stronie producenta 
