Wielostopniowe pompy Roots’a

Wielostopniowe pompy Roots’a znajdują coraz częściej zastosowanie w aplikacjach wymagających prozni czystej i bezojelowej. Czesto stosowane jako pompy prozni wstepnej w stanowiskach pompowych turbo, w liofilizatorach medycznych czy tez jako pompy procesowe w przemyśle połprzewodnikowym.

Technologia z zastosowaniem wielostopniowych pomp Roots’a jest idealnym rozwiązaniem tam, gdzie wymagana jest czysta i bezolejowa proznia i wymagany jest całkowity brak strumienia par wstecznych olejow czy smarow.

Seria ACP to seria chłodzonych powietrzem niewielkich urządzeń charakteryzujących się niskimi kosztami zakupu i stałymi w czasie parametrami pracy. Uzywane głownie w analityce, przy produkcji połprzewodnikow i plazmowej obrobce powierzchni, w zakresie prozni od atmosfery do 3×10^-3 mbar. Stanowią idealne rozwiązania przy analizie gazow RGA, w systemach UHV i mikroskopach elektronowych.

DOSTEPNE MODELE

ACP 15 (15 m³/h)

ACP 28 (28 m³/h)

ACP 40 (40 m³/h)

Dostępne są rowniez wersje do pompowania śladowych ilości gazow korozywnych (ver. G) i przeznaczone do pracy ze zwiększoną ilością pary wodnej w pompowanym powietrzu (do 1000 gram/h ver. CV)

Kompaktowe pompy serii A100 L mozna łatwo zintegrować w systemach ze względu na ich małe wymiary. Komory załadowcze i przejściowe w produkcyjnych i pilotazowych liniach  połprzewodnikow i ogniw fotowoltaicznych to typowe obszary zastosowań dla tego typoszeregu pomp.

ACP 120 i ACG 600 to rozwiązania bazujące na wielostopniowych pompach Roots’a przeznaczone głownie dla przemysłu.

Wielostopniowe Roots Pompy z serii A3P zostały opracowane do procesow chemicznych, w ktorych pompowane są lekko agresywne lub kondensujące gazy. Pompy charakteryzuje zwarta budowa, niewielkie zuzycie energii, niski poziom hałasu i wibracji.

Pompy serii A3H o szybkości pompowania do 1800 m³/h, są wykonane z materiałow odpornych na korozję. Stanowią sprawdzone rozwiązanie w procesach CVD i w przemyśle połprzewodnikowym

TYPOWE ZASTOSOWANIA

• Komory załadowcze (load-lock)
• napylarki
• procesy PVD / CVD
• mikroskopy elektronowe

• wykrywacze nieszczelności
• spektrometry masowe i optyczne
• akceleratory cząstek elementarnych
• produkcji lamp prozniowych
• regeneracja pomp kriogenicznych
• czyszczenie plazmowe i suszenie prozniowe
• pokrywanie szkła architektonicznego

Animacja prezentująca zasadę działania pomp serii ACP