Wielostopniowe pompy Roots’a

Pompa prozniowa Sucha model ACP 28 prod. adixen
Wielostopniowe pompy Roots’a znajdują coraz częściej zastosowanie w aplikacjach wymagających prozni czystej i bezojelowej. Czesto stosowane jako pompy prozni wstepnej w stanowiskach pompowych turbo, w liofilizatorach medycznych czy tez jako pompy procesowe w przemyśle połprzewodnikowym.
Technologia z zastosowaniem wielostopniowych pomp Roots’a jest idealnym rozwiązaniem tam, gdzie wymagana jest czysta i bezolejowa proznia i wymagany jest całkowity brak strumienia par wstecznych olejow czy smarow.
Seria ACP to seria chłodzonych powietrzem niewielkich urządzeń charakteryzujących się niskimi kosztami zakupu i stałymi w czasie parametrami pracy. Uzywane głownie w analityce, przy produkcji połprzewodnikow i plazmowej obrobce powierzchni, w zakresie prozni od atmosfery do 3×10-3 mbar. Stanowią idealne rozwiązania przy analizie gazow RGA, w systemach UHV i mikroskopach elektronowych.
DOSTEPNE MODELE
ACP 15 (15 m³/h)
ACP 28 (28 m³/h)
ACP 40 (40 m³/h)
Dostępne są rowniez wersje do pompowania śladowych ilości gazow korozywnych (ver. G) i przeznaczone do pracy ze zwiększoną ilością pary wodnej w pompowanym powietrzu (do 1000 gram/h ver. CV)
Kompaktowe pompy serii A100 L mozna łatwo zintegrować w systemach ze względu na ich małe wymiary. Komory załadowcze i przejściowe w produkcyjnych i pilotazowych liniach połprzewodnikow i ogniw fotowoltaicznych to typowe obszary zastosowań dla tego typoszeregu pomp.
ACP 120 i ACG 600 to rozwiązania bazujące na wielostopniowych pompach Roots’a przeznaczone głownie dla przemysłu.
Wielostopniowe Roots Pompy z serii A3P zostały opracowane do procesow chemicznych, w ktorych pompowane są lekko agresywne lub kondensujące gazy. Pompy charakteryzuje zwarta budowa, niewielkie zuzycie energii, niski poziom hałasu i wibracji.
Pompy serii A3H o szybkości pompowania do 1800 m³/h, są wykonane z materiałow odpornych na korozję. Stanowią sprawdzone rozwiązanie w procesach CVD i w przemyśle połprzewodnikowym
TYPOWE ZASTOSOWANIA
- Komory załadowcze (load-lock)
- napylarki
- procesy PVD / CVD
- mikroskopy elektronowe
- wykrywacze nieszczelności
- spektrometry masowe i optyczne
- akceleratory cząstek elementarnych
- produkcji lamp prozniowych
- regeneracja pomp kriogenicznych
- czyszczenie plazmowe i suszenie prozniowe
- pokrywanie szkła architektoni
cznego
Animacja prezentująca zasadę działania pomp serii ACP