Pompa próżniowa bezolejowa
wielostopniowy roots
ACP 28 Pfeiffer Vacuum
Suche wielostopniowe pompy Roots’a wykorzystują kilka kolejnych stopni bezkontaktowo pracujących rotorów. Brak oleju w komorach sprężania eliminuje ryzyko wstecznego strumienia par oleju i umożliwia stosowanie tych pomp w procesach wymagających czystego środowiska próżniowego.
W odróżnieniu od klasycznej pompy Roots typu booster, która współpracuje z pompą próżni wstępnej, konstrukcja wielostopniowa spręża gaz kolejno w kilku stopniach i może pracować jako samodzielna pompa od ciśnienia atmosferycznego do zakresu próżni średniej.
Suche wielostopniowe pompy Roots’a
Wielostopniowa pompa Roots wykorzystuje kilka par synchronicznie obracających się rotorów rozmieszczonych kolejno na wspólnych wałach. Rotory nie stykają się ze sobą ani z obudową pompy, dzięki czemu w komorach sprężania nie jest wymagane smarowanie olejem. Gaz jest transportowany przez kolejne stopnie i stopniowo sprężany aż do wylotu pompy.
Taka konstrukcja umożliwia uzyskanie czystej i suchej próżni oraz ogranicza zużycie elementów znajdujących się w torze pompowanego gazu. W zależności od wykonania dostępne są wersje przeznaczone do gazów czystych, mediów kondensujących, śladowych ilości gazów korozywnych oraz wymagających procesów chemicznych i półprzewodnikowych.
Wielostopniowe pompy Roots’a są stosowane m.in. w aparaturze analitycznej, systemach RGA, mikroskopach elektronowych, wykrywaczach nieszczelności, komorach load-lock i transferowych, procesach PVD/CVD, produkcji półprzewodników, technologiach powlekania oraz jako pompy próżni wstępnej w układach wysokiej próżni.
Jeżeli aplikacja wymaga klasycznej pompy Roots typu booster współpracującej z osobną pompą wstępną, zobacz pompy Roots’a w ofercie APVACUUM.
Pompy ACP – kompaktowe suche pompy wielostopniowe
Rodzina ACP należy do najczęściej stosowanych suchych pomp wielostopniowych Pfeiffer Vacuum. Modele ACP 15, ACP 28 i ACP 40 są przeznaczone przede wszystkim do aparatury analitycznej, laboratoriów, systemów badawczych oraz jako pompy próżni wstępnej dla pomp turbomolekularnych. Większa ACP 90 rozszerza zakres rodziny do aplikacji wymagających wyższej prędkości pompowania. Wszystkie modele wykorzystują bezkontaktową technologię wielostopniową, dzięki czemu w komorach sprężania nie jest wymagany olej.
Pompy ACP mogą pracować od ciśnienia atmosferycznego i osiągają ciśnienie końcowe rzędu 10⁻² mbar. W zależności od modelu i wykonania dostępne są wersje przystosowane do standardowych gazów, mediów zawierających parę wodną, gazów korozywnych oraz procesów wymagających przedmuchu gazem obojętnym. Dzięki kompaktowej konstrukcji i chłodzeniu powietrzem ACP 15, ACP 28 i ACP 40 są szczególnie łatwe do integracji z aparaturą próżniową.
| Parametr | ACP 15 | ACP 28 | ACP 40 | ACP 90 |
|---|---|---|---|---|
| Maks. prędkość pompowania | 14 m³/h | 27 m³/h | 37 m³/h | 88 m³/h |
| Ciśnienie końcowe bez przedmuchu / balastu gazowego | 5 · 10−2 mbar | 4 · 10−2 mbar | 4 · 10−2 mbar | 3 · 10−2 mbar |
| Maks. ciągłe ciśnienie wlotowe | 1013 mbar | 1013 mbar | 1013 mbar | 1013 mbar |
| Moc pobierana przy ciśnieniu końcowym | 450 W | 700 W | 700 W | 1280 W |
| Przyłącze wlotowe | DN 25 ISO-KF | DN 25 ISO-KF | DN 40 ISO-KF | DN 40 ISO-KF |
| Przyłącze wylotowe | DN 16 ISO-KF | DN 25 ISO-KF | DN 25 ISO-KF | DN 40 ISO-KF |
| Masa | 23 kg | 30 kg | 32 kg | 75 kg |
Dane techniczne
| Parametr | Wielostopniowe pompy Roots’a |
|---|---|
| Technologia | sucha wielostopniowa pompa Roots |
| Sposób sprężania | kilka stopni sprężania połączonych szeregowo |
| Praca rotorów | bezkontaktowa |
| Smarowanie komory roboczej | brak |
| Rodzaj próżni | sucha i bezolejowa |
| Nominalna prędkość pompowania | ok. 15–3000 m³/h, zależnie od rodziny i modelu |
| Ciśnienie końcowe | zależne od modelu i wykonania; dla wybranych konstrukcji do zakresu 10⁻⁴ mbar |
| Chłodzenie | powietrzne lub wodne, zależnie od rodziny |
| Praca od ciśnienia atmosferycznego | tak, zależnie od modelu i konfiguracji |
Porównanie rodzin wielostopniowych pomp Roots’a
Porównanie rodzin wielostopniowych pomp Roots’a
| Rodzina | Nominalna prędkość pompowania | Charakterystyka | Typowe zastosowania |
|---|---|---|---|
| ACP | 15–90 m³/h | Kompaktowe, suche pompy wielostopniowe; dostępne wykonania do gazów czystych, kondensujących i śladowych ilości gazów korozywnych. | Analityka, R&D, medycyna, farmacja, próżnia wstępna dla pomp turbomolekularnych, czyste procesy próżniowe. |
| A 100 L / A 200 L | 100–200 m³/h | Kompaktowa konstrukcja, wysoka przepustowość i łatwa integracja z urządzeniami. | Komory load-lock i transferowe, półprzewodniki, instalacje wymagające szybkiego odpompowania. |
| TORRI | 100–600 m³/h | Energooszczędne pompy procesowe o kompaktowej konstrukcji i wysokiej wydajności. | Produkcja półprzewodników, load-lock, transfer i procesy technologiczne. |
| A4 | 110–3000 m³/h | Konstrukcje przeznaczone do wymagających procesów; dostępne wykonania odporne na gazy korozywne i agresywne chemicznie. | CVD, trawienie półprzewodników, procesy chemiczne i inne wymagające aplikacje przemysłowe. |
Dobór suchej pompy próżniowej
Dobór wielostopniowej pompy Roots’a zależy od wymaganej prędkości pompowania, ciśnienia końcowego, rodzaju i ilości pompowanych gazów, obecności par kondensujących oraz warunków procesu. APVACUUM może pomóc w doborze odpowiedniej rodziny i wykonania pompy oraz jej integracji z kompletnym układem próżniowym.
Zapytaj o suchą pompę próżniową
