High Pressure Analyser HPA 220

High pressure analyser HPA 220

Analizator gazow i mieszanin gazowych w procesach pod ciśnieniem ponizej 10 mbar. Ciśnienie robocze analizatora określa system dozowania gazow złozony z diafragm i zaworow przyłączeniowych bramowych lub/i dozujących.

OPIS UKŁADU

• System dozowania gazow (zawory bramowe ręczne i elektropneumatyczne, dozujące HPI 040, UDV 040)
• spektrometr masowy PrismaPlus™
• komora prozniowa UHV z pomiarową głowicą prozniową PKR 251 DN 40 CF
• system pompowy – pompa turbomolekularna HiPace™ 80 DN 63 CF-F i pompa membranowa MVP 02
• kontroler BRU220 w składzie
• kontroler pompy turbo DCU002
• prozniomierz jednokanałowy TPG 262
• sterownik zaworow do dozowania gazow VCU 220 (opcjonalnie)

MOŻLIWE KONFIGURACJE HPA 220

schemat 1

schemat 2 

schemat 3