Stanowisko pompowe turbo HiCube Neo
HiCube Neo to aktualna generacja kompletnych turbomolekularnych stanowisk pompowych Pfeiffer Vacuum przeznaczonych do wytwarzania wysokiej i ultrawysokiej próżni. System łączy pompę turbomolekularną HiPace, odpowiednio dobraną pompę próżni wstępnej oraz zintegrowane sterowanie.
Modularna konstrukcja HiCube Neo pozwala dobrać konfigurację do wymaganej szybkości pompowania, objętości komory i charakteru procesu. Dostępne są kompaktowe wersje desktop oraz większe stanowiska floor-standing z pompami turbomolekularnymi o klasie szybkości pompowania do 800 l/s.
Dwie wersje konstrukcyjne HiCube Neo
HiCube Neo jest oferowane w dwóch podstawowych wykonaniach. Kompaktowa wersja desktop jest przeznaczona przede wszystkim do mniejszych układów wysokiej próżni, natomiast wersja floor-standing umożliwia zastosowanie większych turbopomp i znacznie wydajniejszych pomp próżni wstępnej.
| Parametr | HiCube Neo desktop | HiCube Neo floor-standing |
|---|---|---|
| Klasa szybkości pompowania turbopompy | 80–300 l/s | 80–800 l/s |
| Szybkość pompowania pompy backing | 1–1,8 m³/h | 6–70 m³/h |
| Pompy HiPace | HiPace 80, HiPace 300 | HiPace 80, 300, 350, 400, 450, 700, 800 |
| Pompy HiPace H | HiPace 300 H | HiPace 300 H, 700 H, 800 H |
| Chłodzenie | powietrze / woda | powietrze / woda |
| Zasilanie | 100–120 / 200–240 V AC, 50/60 Hz | 100–120 / 200–240 V AC, 50/60 Hz |
| Masa | ok. 14,5–22,5 kg | ok. 65,5–104 kg |
Pompy turbomolekularne
Zakres dostępnych pomp HiPace pozwala dobrać HiCube Neo zarówno do niewielkich komór laboratoryjnych, jak i większych instalacji wymagających wysokiej szybkości pompowania. Wersje HiPace H zapewniają zwiększoną kompresję i mogą być stosowane w układach ultrawysokiej próżni.
| Wariant | Dostępne pompy | Charakterystyka |
|---|---|---|
| Standardowe HiPace | HiPace 80, 300, 350, 400, 450, 700, 800 | szeroki zakres szybkości pompowania dla aplikacji wysokiej próżni |
| HiPace H | HiPace 300 H, 700 H, 800 H | wersje o wysokiej kompresji przeznaczone m.in. do zastosowań wymagających ultrawysokiej próżni |
Dobór pompy próżni wstępnej
Jedną z najważniejszych zalet HiCube Neo jest możliwość wyboru technologii pompy backing odpowiednio do procesu. Dostępne są rozwiązania całkowicie bezolejowe oraz klasyczne pompy łopatkowe.
| Technologia | Dostępne pompy | Charakter układu |
|---|---|---|
| Membranowe | MVP 15-2, MVP 030-3 | kompaktowe, suche układy próżni wstępnej |
| Wielostopniowe Roots | ACP 15, ACP 28, ACP 40 | wydajne, bezolejowe pompowanie próżni wstępnej |
| Scroll | HiScroll 6, HiScroll 12, HiScroll 18 | sucha technologia do zastosowań wymagających czystej próżni |
| Łopatkowe jednostopniowe | SmartVane 55, SmartVane 70 | wydajne pompy olejowe do większych układów |
| Łopatkowe dwustopniowe | Duo 6 M, Duo 11 M, Duo 20 M | klasyczne pompy backing do układów wysokiej próżni |
Sterowanie i komunikacja
| Funkcja | HiCube Neo |
|---|---|
| Panel operatorski | 7-calowy kolorowy ekran dotykowy |
| Obsługa lokalna | dostęp do parametrów i ustawień całego stanowiska z poziomu panelu |
| Zdalne sterowanie | obsługa i monitoring przez serwer WWW |
| Rejestracja danych | możliwość zapisu i analizy danych pomiarowych |
| Komunikacja procesowa | OPC UA |
Stanowisko jest przygotowane do szybkiego uruchomienia, a dostęp do podstawowych funkcji odbywa się przez zintegrowany ekran dotykowy. Serwer WWW pozwala kontrolować system zdalnie, natomiast komunikacja OPC UA umożliwia wykorzystanie danych urządzenia w nadrzędnych systemach sterowania i analizy procesu.
Wyposażenie i opcje
| Opcja | Zastosowanie |
|---|---|
| Zawór odpowietrzający | kontrolowane odpowietrzanie turbopompy |
| Zawór bezpieczeństwa próżni wstępnej | ochrona układu podczas zatrzymania lub awarii pompy backing |
| Gauge I/O | podłączenie analogowych głowic próżniowych |
| ActiveLine / DigiLine | integracja pomiaru ciśnienia ze stanowiskiem |
| Zestaw przedłużający | zewnętrzny montaż turbopompy poza konstrukcją stanowiska |
Wysoka i ultrawysoka próżnia
HiCube Neo może być skonfigurowane zarówno do standardowych aplikacji wysokiej próżni, jak i do układów UHV. Zastosowanie pomp HiPace H umożliwia osiąganie ciśnień poniżej 10−10 hPa w odpowiednio przygotowanym systemie próżniowym.
Rzeczywiste parametry instalacji zależą również od objętości komory, przewodności połączeń, obciążenia gazowego, materiałów zastosowanych w układzie oraz parametrów pompy próżni wstępnej.
Łatwa obsługa i serwis
Otwarta konstrukcja HiCube Neo zapewnia dostęp do pomp i pozostałych elementów stanowiska, ułatwiając obsługę oraz czynności serwisowe. Modularna budowa pozwala jednocześnie dobrać konfigurację bez konieczności projektowania całego układu pompowego od podstaw.
Zastosowanie HiCube Neo
| Obszar | Przykładowe zastosowanie |
|---|---|
| Badania i rozwój | komory badawcze, stanowiska laboratoryjne, aparatura naukowa |
| Analiza i pomiary | spektrometria masowa, analiza gazów resztkowych, aparatura analityczna |
| Technologie próżniowe | procesy powłokowe i urządzenia wymagające wysokiej próżni |
| Integracja OEM | kompletne źródło wysokiej próżni dla maszyn i urządzeń technologicznych |
Wstępny dobór układu pompowego
Przed wyborem konkretnej konfiguracji HiCube Neo można przeprowadzić wstępną analizę komory, instalacji oraz zestawu pompa backing + turbopompa w narzędziu Pump System Designer dostępnym w APVACUUM Toolbox.
Dobierz układ pompowy w APVACUUM Toolbox
Dobór HiCube Neo do aplikacji
Dobór stanowiska powinien uwzględniać nie tylko nominalną szybkość pompowania turbopompy, ale także objętość komory, czas odpompowania, przewodność instalacji, wymagane ciśnienie końcowe oraz charakter pompowanych gazów. APVACUUM może pomóc w wyborze odpowiedniej turbopompy, technologii pompy próżni wstępnej oraz wyposażenia dodatkowego.
