Helowy wykrywacz nieszczelności ASM 390
Pfeiffer Vacuum GmbH
ASM 390 i ASM 392 to wysokowydajne, całkowicie bezolejowe helowe wykrywacze nieszczelności przeznaczone do kontroli dużych układów próżniowych oraz wymagających zastosowań przemysłowych. Wydajna pompa wstępna o szybkości pompowania 35 m3/h pozwala szybko odpompować badany obiekt, a wysoka szybkość pompowania helu – 10 l/s dla ASM 390 i 25 l/s dla ASM 392 – skraca czas odpowiedzi i umożliwia sprawne prowadzenie kolejnych cykli pomiarowych.
Oba modele umożliwiają badania metodą próżniową oraz sondą wąchającą i mogą pracować z helem oraz wodorem jako gazami znacznikowymi. ASM 390/392 są szczególnie dobrze przystosowane do dużych instalacji, komór próżniowych i zastosowań, w których istotne są krótki czas testu, wysoka czułość oraz czystość procesu.
ASM 390 i ASM 392 – wysokowydajne wykrywacze nieszczelności
ASM 390 i ASM 392 należą do klasy przemysłowych wykrywaczy nieszczelności przeznaczonych do pracy z dużymi układami próżniowymi. Ich konstrukcja łączy wysoką czułość spektrometru masowego z wydajnym układem pompowym, dzięki czemu urządzenie może szybko przygotować badany obiekt do pomiaru i lokalizować nawet bardzo małe przecieki.
Oba modele wykorzystują całkowicie bezolejowy układ pompowania wstępnego oparty na wielostopniowej pompie Roots o wydajności 35 m³/h. Eliminuje to ryzyko wprowadzania par oleju do badanego systemu i umożliwia stosowanie wykrywaczy w procesach wymagających wysokiej czystości próżni.
ASM 390/392 mogą pracować metodą natryskową w próżni oraz metodą snifferową. Wykrywane są hel 4He, izotop 3He oraz wodór H2. Maksymalne ciśnienie na wejściu testowym wynosi 20 mbar, a czas odpowiedzi jest krótszy niż 1 s.
ASM 390 czy ASM 392?
Podstawowa różnica pomiędzy urządzeniami dotyczy szybkości pompowania helu. ASM 390 osiąga 10 l/s, natomiast ASM 392 – 25 l/s. Pozostałe podstawowe parametry pomiarowe oraz wydajność pompy wstępnej są takie same.
ASM 390 jest odpowiedni do dużych instalacji i komór próżniowych wymagających wysokiej szybkości pomiaru. ASM 392 zapewnia jeszcze większą szybkość usuwania helu z badanego układu, dlatego jest szczególnie przydatny przy bardzo dużych objętościach, intensywnym obciążeniu gazowym oraz tam, gdzie minimalizacja czasu kolejnych cykli pomiarowych ma kluczowe znaczenie.
Dane techniczne
Porównanie ASM 390 i ASM 392
| Parametr | ASM 390 | ASM 392 |
|---|---|---|
| Metody badania | próżniowa / sonda wąchająca | próżniowa / sonda wąchająca |
| Gazy znacznikowe | 4He, 3He, H2 | 4He, 3He, H2 |
| Minimalny wykrywalny naciek He – metoda próżniowa | 1 · 10−12 mbar·l/s | 1 · 10−12 mbar·l/s |
| Minimalny wykrywalny naciek He – metoda wąchająca | 1 · 10−8 mbar·l/s | 1 · 10−8 mbar·l/s |
| Szybkość pompowania helu | 10 l/s | 25 l/s |
| Wydajność pompy wstępnej | 35 m3/h | 35 m3/h |
| Maks. ciśnienie testowe na wlocie | 20 mbar | 20 mbar |
| Czas reakcji | < 1 s | < 1 s |
| Pompa wstępna | bezolejowa, wielostopniowa pompa Roots | bezolejowa, wielostopniowa pompa Roots |
| Przyłącze wlotowe | DN 40 ISO-KF | DN 40 ISO-KF |
| Wymiary (dł. × szer. × wys.) | 1072 × 455 × 1025 mm | 1072 × 455 × 1025 mm |
| Masa | ok. 125 kg | ok. 130 kg |
| Typowe zastosowania |
duże instalacje i komory próżniowe, przemysłowa kontrola szczelności, procesy wymagające czystej próżni |
duże instalacje i komory próżniowe, testy o wysokiej wydajności, aplikacje wymagające bardzo krótkiego czasu cyklu |
Zastosowania ASM 390/392
ASM 390 i ASM 392 są przeznaczone m.in. do przemysłu półprzewodnikowego, technologii powłokowych, instalacji wysokiej i ultrawysokiej próżni, systemów dystrybucji gazów o wysokiej czystości oraz diagnostyki dużych urządzeń i komór próżniowych. Mobilna konstrukcja umożliwia przemieszczanie wykrywacza pomiędzy instalacjami i prowadzenie pomiarów bezpośrednio przy badanym urządzeniu.
W przypadku seryjnej kontroli produkcyjnej wykrywacz może stanowić jeden z elementów kompletnego systemu badania szczelności obejmującego komorę testową, układ dozowania gazu znacznikowego, automatykę oraz rejestrację wyników.
ASM 390/392 jako następcy ASM 380
ASM 390 i ASM 392 zastąpiły wcześniejszy przemysłowy wykrywacz ASM 380. Nowa generacja zwiększa szybkość pompowania helu z 7 l/s w ASM 380 do 10 l/s w ASM 390 i 25 l/s w ASM 392, zachowując wysokowydajny, bezolejowy układ pompowania wstępnego.
Użytkownikom eksploatującym starszy ASM 380 APVACUUM może pomóc zarówno w zakresie serwisu helowych wykrywaczy nieszczelności, jak i w doborze odpowiedniego modelu zastępczego.
Dobór ASM 390 lub ASM 392
Dobór pomiędzy ASM 390 i ASM 392 zależy przede wszystkim od objętości badanego układu, wymaganego czasu reakcji oraz częstotliwości wykonywania kolejnych pomiarów. APVACUUM może pomóc w doborze odpowiedniego modelu, konfiguracji układu pompowego, sondy snifferowej, nacieku wzorcowego oraz pozostałego wyposażenia stanowiska.
