Komora działa plazmowego IBIS-II

Name: APVACUUM
Address: Klonowa 2, Suchy Las, 62-002
Telephone: 61 656 35 30

W skład urządzenia wchodzą:

zaprojektowana pod indywidualne wymagania komora próżniowa HV o objętości ok. 0,5 m³ z rękawem diagnostycznym
stanowisko pompowe komory złożone z dwóch pomp turbomolekularnych HiPace 2300 U i bezolejowego stanowiska pompowego ACG 600 (pompa typu wielostopniowy suchy Roots A 120L i pompa typu Roots RSV 601)
trzy stanowiska pompowe jonowodu złożone z pomp turbomolukularnych HiPace 80 i wstępnych typu wielostopniowy suchy Roots ACP 15
układ zaworów
układ sterowania wraz z oprogramowaniem

t: +48 601 88 53 91
t: +48 61 656 35 60
e: a.kajoch@apvacuum.com

t: +48 607 57 10 99
t: +48 61 656 35 61
e: p.katowski@apvacuum.com

Przejdź do kontaktu

Partnerzy