Komora działa plazmowego IBIS-II

W skład urządzenia wchodzą:

• zaprojektowana pod indywidualne wymagania komora próżniowa HV o objętości ok. 0,5 m³ z rękawem diagnostycznym
• stanowisko pompowe komory złożone z dwóch pomp turbomolekularnych HiPace 2300 U i bezolejowego stanowiska pompowego ACG 600 (pompa typu wielostopniowy suchy Roots A 120L i pompa typu Roots RSV 601)
• trzy stanowiska pompowe jonowodu złożone z pomp turbomolukularnych HiPace 80 i wstępnych typu wielostopniowy suchy Roots ACP 15
• układ zaworów
• układ sterowania wraz z oprogramowaniem