Komora próżniowa z wyposażeniem

W skład urządzenia wchodzą:

• zaprojektowana na indywidualne zamowienie komora prozniowa HV o objętości ok. 2 m³
• układ pompowy: pompa turbomolekularna HiPace 3400 MC, suche stanowisko pompowe typu Roots ACG 600, pompa kriogeniczna Velco 
• układ zaworowy i pomiarowy
• układ sterowania wraz z oprogramowaniem