Pompa próżniowa bezolejowa
wielostopniowy roots
ACP 28 prod. Pfeiffer Vacuum

Wielostopniowe pompy Roots’a znajdują coraz częściej zastosowanie w aplikacjach wymagających próżni czystej i bezolejowej. Często stosowane jako pompy próżni wstępnej w stanowiskach pompowych turbo, w liofilizatorach medycznych czy tez jako pompy procesowe w przemyśle półprzewodnikowym.

Technologia z zastosowaniem wielostopniowych pomp Roots’a jest idealnym rozwiązaniem tam, gdzie wymagana jest czysta i bezolejowa próżnia i wymagany jest całkowity brak strumienia par wstecznych olejów czy smarów.

Seria ACP to seria chłodzonych powietrzem niewielkich urządzeń charakteryzujących się niskimi kosztami zakupu i stałymi w czasie parametrami pracy. Używane głownie w analityce, przy produkcji półprzewodników i plazmowej obróbce powierzchni, w zakresie próżni od atmosfery do 3×10^-3 mbar. Stanowią idealne rozwiązania przy analizie gazów RGA, w systemach UHV i mikroskopach elektronowych.

DOSTĘPNE MODELE

ACP 15 (15 m³/h)

ACP 28 (28 m³/h)

ACP 40 (40 m³/h)

Dostępne są również wersje do pompowania śladowych ilości gazów korozywnych (ver. G) i przeznaczone do pracy ze zwiększoną ilością pary wodnej w pompowanym powietrzu (do 1000 gram/h ver. CV)

Kompaktowe pompy serii A100 L można łatwo zintegrować w systemach ze względu na ich małe wymiary. Komory załadowcze i przejściowe w produkcyjnych i pilotażowych liniach półprzewodników i ogniw fotowoltaicznych to typowe obszary zastosowań dla tego typoszeregu pomp.

ACP 120 i ACG 600 to rozwiązania bazujące na wielostopniowych pompach Roots’a przeznaczone głownie dla przemysłu.

Wielostopniowe Roots Pompy z serii A3P zostały opracowane do procesów chemicznych, w których pompowane są lekko agresywne lub kondensujące gazy. Pompy charakteryzuje zwarta budowa, niewielkie zużycie energii, niski poziom hałasu i wibracji.

Pompy serii A3H o szybkości pompowania do 1800 m³/h, są wykonane z materiałów odpornych na korozję. Stanowią sprawdzone rozwiązanie w procesach CVD i w przemyśle półprzewodnikowym

TYPOWE ZASTOSOWANIA