Spektrometry masowe
Spektrometry kwadrupolowe PrismaPlus™ charakteryzuje modułowa budowa, co zapewnia elastyczność i mozliwość stosowania tych urządzeń w szerokiej gamie aplikacji (od wykrywania nieszczelności po kontrolę procesow produkcyjnych in-line).
Kwadrupolowe spektrometry masowe HiQuad™:
Rodzina analizatorow masowych charakteryzująca się wyoska czułością i prędkością skanowania w całym zakresie pomiarowym.
Analizatory gazow OmniStar™ i ThermoStar™ umozliwiają jakościową i ilościową analizę gazow i ich mieszanin pod ciśnienieniem do 1500 mbar abs. Probki pobierane są przez kapilarę kwarcową lub stalową i dozowane przez diafragmę do pompowanej roznicowo komory prozniowej spektrometru PrismaPlus™. Urządzenie jest całkowicie zautomatyzowane i sterowane przez komputer.
High pressure analyser HPA 220
Sputter process monitor SPM 220
Analizator plazmy PPM 422