Spektrometry masowe
Spektrometry kwadrupolowe PrismaPlus™ charakteryzuje modułowa budowa, co zapewnia elastyczność i możliwość stosowania tych urządzeń w szerokiej gamie aplikacji (od wykrywania nieszczelności po kontrolę procesów produkcyjnych in-line).
Kwadrupolowe spektrometry masowe HiQuad™:
Rodzina analizatorów masowych charakteryzująca się wyoska czułością i prędkością skanowania w całym zakresie pomiarowym.
Analizatory gazów OmniStar™ i ThermoStar™ umożliwiają jakościową i ilościową analizę gazów i ich mieszanin pod ciśnienieniem do 1500 mbar abs. Próbki pobierane są przez kapilarę kwarcową lub stalową i dozowane przez diafragmę do pompowanej różnicowo komory próżniowej spektrometru PrismaPlus™. Urządzenie jest całkowicie zautomatyzowane i sterowane przez komputer.
High pressure analyser HPA 220
Sputter process monitor SPM 220
Analizator plazmy PPM 422