Pompa turbomolekularna HiPace® 50 SplitFlow
Pfeiffer Vacuum GmbH
Pompa turbo ze stopniem molekularnym oraz wirnikiem osadzonym na łożysku ceramicznym i magnetycznym (łożyskowanie hybrydowe)
Dane techniczne
Współczynniki kompresji
Argon Ar | >1.0e11 |
Wodor H2 | 9.0e5 |
Hel He | >1.0e8 |
Azot N2 | >1.0e11 |
Chłodzenie | wodne (opcjonalne chłodzenie powietrzne) |
Zużycie wody chłodzącej | 50 l/h |
Dopuszczalna temp. wody chłodzącej | 5-35 st. C |
Sterownik | zintegrowany TC400 |
Flansza HV |
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
|
Flansza próżni wstępnej | DN 16 ISO-KF/G1/4″ |
Maksymalny poziom próżni wstępnej | 20 hPa |
Maksymalny przepływ gazu (przy pełnej prędkości obrotowej) | |
Argon Ar | 7.0 hPa l/s |
Wodór H2 | >14hPa l/s |
Hel He | 10 hPa l/s |
Azot N2 | 14 hPa l/s |
Interfejsy i złącza sterujące | RS-485, D-Sub Remote |
Pozycja pracy | dowolna |
Zasilanie | 24 V DC |
Klasa ochronności | IP 54 |
Prędkości pompowania | |
Argon Ar | 255 l/s |
Wodór H2 | 220 l/s |
Hel He | 255 l/s |
Azot N2 | 260 l/s |
Prędkość obrotowa nominalna | 60000 obr./min |
Zakres regulacji prędkości obrotowej | 25-100% |
Czas rozruchu | <1,8 min |
Głośność | poniżej 50 dB(A) |
Ciężar | 6.7 kg |