Układ składa się z:
- komora sferyczna
- stanowisko pompowe HiCube 80 Classic z pompą turbomolekularną HiPace 80 i pompą rotacyjną łopatkową Duo 2.5
- analizator gazów resztkowych – kwadrupolowy spektrometr masowy PrismaPlus
- działo elektronowe EKF 300 z zasilaczem
- układ zaworowy
- rama nośna, stoliki X-Y
