Pompa turbomolekularna HiPace® 350
Pfeiffer Vacuum GmbH
Pompa turbo ze stopniem molekularnym oraz wirnikiem osadzonym na łożysku ceramicznym i magnetycznym (łożyskowanie hybrydowe)
Dane techniczne
Współczynniki kompresji
| Argon Ar | >1.011 |
| Wodór H2 | 2,06 |
| Hel He | >1.08 |
| Azot N2 | >1.011 |
| Chłodzenie | powietrze (opcjonalne chłodzenie wodne) |
| Zużycie wody chłodzącej | 50 l/h |
| Dopuszczalna temp. wody chłodzącej | 5-35 °C |
| Sterownik | zintegrowany TC400 |
| Flansza HV |
DN 100 ISO-K
DN 100 CF-F
|
| Flansza próżni wstępnej | DN 16 ISO-KF/G1/4″ |
| Maksymalny poziom próżni wstępnej | 10 hPa |
| Maksymalny przepływ gazu (przy pełnej prędkości obrotowej) | |
| Argon Ar | 0.7 hPa l/s |
| Wodór H2 | 11 hPa |
| Hel He | 7 hPa l/s |
| Azot N2 | 2 hPa l/s |
| Interfejsy i złącza sterujące | RS-485, D-Sub Remote |
| Pozycja pracy | dowolna |
| Zasilanie | 48 V DC |
| Klasa ochronności | IP 54 |
| Prędkości pompowania | |
| Argon Ar | 270 l/s |
| Wodór H2 | 300 l/s |
| Hel He | 350 l/s |
| Azot N2 | 300 l/s |
| Prędkość obrotowa nominalna | 66000 obr./min |
| Zakres regulacji prędkości obrotowej | 25÷100% |
| Czas rozruchu | <1,8 min |
| Głośność | poniżej 50 dB(A) |
| Ciężar | 7.2 kg |
