Pompa turbomolekularna HiPace® 80 Neo
Pfeiffer Vacuum GmbH
Pompa turbo ze stopniem molekularnym oraz wirnikiem osadzonym na łożysku ceramicznym i magnetycznym (łożyskowanie hybrydowe)
Dane techniczne
Współczynniki kompresji
| Argon Ar | >1.0e11 |
| Wodór H2 | 1.4e5 |
| Hel He | 1.3e7 |
| Azot N2 | >1.0e11 |
| Chłodzenie | powietrze (opcjonalne chłodzenie wodne) |
| Zużycie wody chłodzącej | 75 l/h |
| Dopuszczalna temp. wody chłodzącej | 5-25 °C |
| Sterownik | zintegrowany TC110 |
| Flansza HV |
DN 40 ISO-KF
DN 63 ISO-K
DN 63 CF-F
|
| Flansza próżni wstępnej | DN 16 ISO-KF/G1/4″ |
| Maksymalny poziom próżni wstępnej | 22 hPa |
| Maksymalny przepływ gazu (przy pełnej prędkości obrotowej) | |
| Argon Ar | 0,54 hPa l/s |
| Wodór H2 | 15,3 hPa l/s |
| Hel He | 2,7 hPa l/s |
| Azot N2 | 1,3 hPa l/s |
| Interfejsy i złącza sterujące | RS485, D-Sub |
| Pozycja pracy | dowolna |
| Zasilanie | 24 V DC |
| Klasa ochronności | IP 54 |
| Prędkości pompowania dla flanszy DN 63 | |
| Argon Ar | 66 l/s |
| Wodór H2 | 48 l/s |
| Hel He | 58 l/s |
| Azot N2 | 67 l/s |
| Prędkość obrotowa nominalna | 90000 obr./min |
| Zakres regulacji prędkości obrotowej | 50 ÷ 100% |
| Czas rozruchu | <1,7 min |
| Głośność | poniżej 48 dB(A) |
| Ciężar | 2.4 kg |
