Pompa turbo HiPace® 1200
Pfeiffer Vacuum GmbH
HiPace 1200 to duża pompa turbo z łożyskowaniem hybrydowym, przeznaczona do systemów wysokiej i ultrawysokiej próżni wymagających bardzo dużej prędkości pompowania i wysokiej przepustowości gazowej. Model osiąga do 1250 l/s dla azotu N2 i znajduje zastosowanie m.in. w dużych instalacjach technologicznych, systemach PVD/CVD, aparaturze badawczej oraz procesach wymagających szybkiej ewakuacji dużych objętości.
W standardowych wykonaniach rodziny HiPace 1200–2300 sterownik elektroniczny TC 1200 oraz zasilacz są zabudowane bezpośrednio na pompie (on-board). Umożliwia to zasilanie pompy bezpośrednio z sieci i ogranicza liczbę zewnętrznych komponentów wymaganych do budowy układu. Zintegrowana elektronika odpowiada za napęd, nadzór i sterowanie pompą oraz udostępnia interfejsy do integracji z systemem automatyki.
Dane techniczne
| Parametr | Wartość |
|---|---|
| Przyłącza i ciśnienie końcowe | |
| Przyłącze HV |
DN 200 ISO-K DN 200 ISO-F DN 200 CF-F |
| Przyłącze próżni wstępnej | DN 40 ISO-KF |
| Ciśnienie końcowe – DN 200 ISO-K | < 1,0 · 10-7 hPa |
| Ciśnienie końcowe – DN 200 ISO-F | < 1,0 · 10-7 hPa |
| Ciśnienie końcowe – DN 200 CF-F | < 5,0 · 10-10 hPa |
| Współczynniki kompresji | |
| Argon Ar | 1,0 · 108 |
| Wodór H2 | 6,0 · 103 |
| Hel He | 6,0 · 104 |
| Azot N2 | 1,0 · 108 |
| Prędkości pompowania | |
| Argon Ar | 1 200 l/s |
| Wodór H2 | 1 100 l/s |
| Hel He | 1 300 l/s |
| Azot N2 | 1 250 l/s |
| Przepływ gazu przy końcowej prędkości obrotowej | |
| Argon Ar | 11 hPa·l/s |
| Wodór H2 | 30 hPa·l/s |
| Hel He | 30 hPa·l/s |
| Azot N2 | 20 hPa·l/s |
| Próżnia wstępna | |
| Maksymalne ciśnienie próżni wstępnej – N2 | 2 hPa |
| Sterowanie i zasilanie | |
| Elektronika sterująca | zintegrowany TC 1200 |
| Zasilacz | zintegrowany (on-board) |
| Napięcie zasilania | 100–120 / 200–240 V AC, 50/60 Hz |
| Maksymalny pobór mocy | 1 350 VA |
| Maksymalny prąd | 10 A |
| Interfejsy standardowe | RS-485, Remote |
| Interfejsy opcjonalne | Profibus, DeviceNet |
| Chłodzenie | |
| Chłodzenie standardowe | wodne |
| Przyłącze wody chłodzącej | G 1/4″ |
| Zużycie wody chłodzącej | 100 l/h |
| Dopuszczalna temperatura wody chłodzącej | 15–35 °C |
| Pozostałe dane techniczne | |
| Łożyskowanie | hybrydowe |
| Nominalna prędkość obrotowa | 37 800 obr./min |
| Zakres regulacji prędkości obrotowej | 50–100% |
| Czas rozruchu | 2,5 min |
| Pozycja pracy – wersja standardowa | 0–90° (flansza HV skierowana do góry lub poziomo) |
| Poziom ciśnienia akustycznego | ≤ 50 dB(A) |
| Stopień ochrony | IP54 |
| Integralna nieszczelność | < 1,0 · 10-8 Pa·m3/s |
| Maksymalne dopuszczalne pole magnetyczne – promieniowe | 6 mT |
| Masa – DN 200 ISO-K | 29,5 kg |
| Masa – DN 200 ISO-F | 30,5 kg |
| Masa – DN 200 CF-F | 41 kg |
Uwaga: tabela przedstawia parametry standardowych wykonań HiPace 1200. Pfeiffer oferuje również wersje specjalne, m.in. wykonania U przeznaczone do montażu odwróconego oraz wersje C do pracy z gazami korozyjnymi. Parametry tych wariantów mogą różnić się od danych podanych powyżej.
