pompa turbomolekularna HiPace 10 Pompa turbo ze stopniem molekularnym oraz wirnikiem osadzonym na łożysko ceramicznym i magnetycznym (łożyskowanie hybrydowe)

Test

Komora działa plazmowego IBIS-II W skład urządzenia wchodzą: zaprojektowana pod indywidualne wymagania komora próżniowa HV o objętości ok. 0,5 m3 z rękawem diagnostycznym stanowisko pompowe komory złożone z dwóch pomp turbomolekularnych HiPace 2300 U i bezolejowego stanowiska pompowego ACG 600 (pompa typu wielostopniowy suchy Roots A 120L i pompa typu Roots RSV 601) trzy stanowiska pompowe jonowodu złożone z pomp turbomolukularnych HiPace 80 i wstępnych […]